測量桿的驅動

自由狀態(tài)時測量桿位置

線纜或被測對象驅動

伸出

氣動

縮回

測量基準

Zerodur玻璃陶瓷基體的DIADUR相位光柵；柵距4 μm

系統(tǒng)精度

± 0.2 μm

單信號周期位置誤

≤± 0.2 μm

參考點

上止點下方約1.7 mm處

測量范圍

12 mm

25 mm

12 mm

25 mm

測量力

參見測量力—測量桿驅動

“無彈簧"版

垂直向下

0.13 N1)

0.17 N1)

–

壓縮空氣

–

≤ 1.4 bar

徑向力

≤0.8 N（機械允許）

固定

裝夾桿φ8h6

工作姿態(tài)

任意；對于無彈簧版：垂直向下

振動 55 Hz至2 000 Hz

沖擊 11 ms

≤100 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤1 000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

10 °C至40 °C；標準溫度20 °C

防護等級EN 60 529

IP 50

IP 64（有密封空氣）

重量不帶電纜

100 g

180 g

110 g

190 g

電氣參數(shù)

MT 1271

MT 2571

MT 128x

MT 258x

接口

卐TTL

~ 1 VPP

內部細分倍數(shù)*

5倍

10倍

–

信號周期

0.4 μm

0.2 μm

2 μm

機械允許運動速度

≤30 m/min

邊沿間距a，

掃描頻率*/運動速度時

200 kHz≤24 m/min

100 kHz≤12 m/min

50 kHz≤6 m/min

25 kHz≤3 m/min

≥ 0.23 μs

≥ 0.48 μs

≥ 0.98 μs

–

≥0.23 μs

≥0.48 μs

≥0.98 μs

–

電氣連接*

（接口電子設備在接頭中）

電纜長度1.5 m帶D-sub接頭（針式）,15針

電纜長度1.5 m帶

• D-sub接頭（針式），15針

• M23接頭（針式），12針

電纜長度

≤30 m海德漢電纜

電源

5 V DC ± 0.5 V/< 160 mA（無負載）

5 V DC ± 0.25 V/< 130 mA